상세 규격 표

Cat. No	Model	Internal Size	사용 Wafer
W01-261-402	L40038-WJ	Ø117×h49 mm	4"
W01-261-409	L60008-WJ	Ø167×h76 mm	6"
W01-261-416	L80010-WJ	Ø235×h51 mm	8"
W01-261-423	L120054-WJ	Ø303×h23 mm	12"